Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
田中 桃子; 古川 裕介*; 中里 智治*; 巽 敏博*; 村上 英利*; 清水 俊彦*; 猿倉 信彦*; 錦野 将元; 河内 哲哉; 鏡谷 勇二*; et al.
X-Ray Lasers 2008; Springer Proceedings in Physics, Vol.130, p.501 - 505, 2009/00
本研究では、ZnOとGaNの単結晶について波長13.9nmのX線レーザー励起による時間分解発光計測を行い、UV励起の場合と比較し、EUV用シンチレーション物質としての評価を行った。ZnOに関しては、380nm付近に寿命3ns程度のエキシトン由来の発光が観測され、この振る舞いはUV励起の場合と同様であった。この波長領域の発光は利用が比較的容易であり、シンチレーターとして有用であることを示している。一方GaNに関しては、ZnOと比べて発光寿命が長くまたEUV励起とUV励起で発光の時間減衰が異なることがわかった。このことから、EUV用シンチレーターとしてはZnOの方が理想的であるといえる。また、X線レーザーがEUVを光源とする次世代リソグラフィーの周辺物質の評価などに有用であることが示された。
越智 義浩; 長谷川 登; 河内 哲哉; 錦野 将元; 田中 桃子; 岸本 牧; 大場 俊幸
X-Ray Lasers 2008; Springer Proceedings in Physics, Vol.130, p.161 - 166, 2009/00
We have developed new driver laser system (TOPAZ: Twin OPtical Amplifiers using Zigzag slab) dedicated to generate highly coherent X-ray laser with the double target scheme at the Japan Atomic Energy Agency (JAEA). The laser system consists of Ti:Sapphire oscillator, pulse stretcher, OPCPA, prepulse generator, flash lamp pumped zigzag slab Nd:glass amplifiers, pulse compressor, and line focusing system. The TOPAZ system can be operated at the repetition rate of 0.1 Hz which is hundred times higher than the present system. The generated X-ray laser will be used in several application researches.
錦野 将元; 山谷 寛; 永島 圭介; 河内 哲哉
X-Ray Lasers 2008; Springer Proceedings in Physics, Vol.130, p.427 - 432, 2009/00
ミクロン程度のサイズに集光されたX線ビームは、非線形現象の計測,微細加工や単一細胞へのX線照射などの応用に用いることが期待される。軟X線レーザーを位相型フレネルゾーンプレートにより集光し軟X線サブミクロンビームの生成を行った。ナイフエッジスキャン法を用いて生成したビーム径の計測を行った結果、集光径は500nm(半値)程度で回折限界の約2倍程度まで集光していることを確認した。今回、この軟X線サブミクロンビームを用いて参照光に用いることによりフーリエ変換ホログラフィ計測法の開発を行った。フレネルゾーンプレートにより回折されなかった0次光によってサンプルから回折した光とフレネルゾーンプレートによって回折した1次光との干渉によりホログラムの計測を行った。ワイヤーとテストパターンによるホログラム取得像から空間分解能の評価を行った。またサブミクロンビームを使った今後のX線照射実験の計画について発表を行う。
